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超音波微小液体流量計 μLF-100

(株)ソニック

最終更新日:2014/01/30

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  • 超音波微小液体流量計 μLF-100
デジタル信号処理を用い高精度測定
【μLF-100】は、1ml／minからの測定が可能な超音波微小液体流量計。センサ部が流体に非接触な構造で、デジタル信号処理を用いた微小流量高精度測定が可能。1:500の広いレンジアビリティを実現。IPA・純水・薬液などの半導体製造工程における微小領域の流量管理、コスト／品質管理、ISO14001における環境用流量管理に有用。
    　　　　　　　　

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