小型圧力センサ Cerabar／Ceraphantシリーズ

高精度小型圧力センサ【Cerabar／Ceraphantシリーズ】は、コンパクトサイズでありながら、半導体製造CMP工程にも使用可能な耐久性と経済性を両立する高精度小型圧力センサ。4-20mA電流出力やスイッチ出力に加えて、IO-link出力タイプもラインアップし、幅広い制御システムに採用可能。また、高純度99.9％Al2O3製Ceraphireセラミックセンサを搭載したモデルでは、変形の少なさから長期安定性と絶対真空への適応に加えて、耐研磨性にも優れておりCMP工程などにも使用する事ができる。内部封入液がないことにより封入液漏れのリスクも無くすことが可能。上位モデルである圧力・差圧伝送器 Cerabar / Deltabarシリーズでは、防爆エリアや±0.025%高精度に加えて、Bluetooth通信による遠隔操作に対応したモデルもラインアップしており、幅広い圧力センサの要望に1社で対応することができる。圧力のほかにも、温度センサや流量・レベル計に加えて導電率計などの水質分析計などもラインアップし、全てセンサ素子から自社で開発製造している。