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製品カタログ・資料
- コンパクト超音波流量モニタ UCF006
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.29MB【UCF006】は、コンパクトモデルの超音波流量モニタです。流量測定部をストレート構造にすることで、半導体プロセスにおいて問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を軽減したことを特徴としています。
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