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コンパクト超音波流量モニタ UCF006

東京計装(株)

最終更新日:2019/04/19

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  • コンパクト超音波流量モニタ UCF006
気泡に対する影響を軽減するストレート構造を採用
【UCF006】は、流量測定部をストレート構造にすることにより、気泡の軽減と圧力損失を軽減したコンパクト超音波流量モニタ。検出器・変換器を一体構造にし、省スペース化を実現。時間分解能の向上と信号処理の高速化により、従来製品に比べ低流量域で計測の安定度が増長。

製品カタログ・資料

コンパクト超音波流量モニタ UCF006
コンパクト超音波流量モニタ UCF006

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.29MB【UCF006】は、コンパクトモデルの超音波流量モニタです。流量測定部をストレート構造にすることで、半導体プロセスにおいて問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を軽減したことを特徴としています。

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