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液体用省スペース超音波流量計 UCUF-Eシリーズ

東京計装(株)

最終更新日:2025/01/20

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  • 液体用省スペース超音波流量計 UCUF-Eシリーズ
洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に最適
【UCUF-Eシリーズ】は、超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計。検出器「UCUF-E形」と変換器「SFC形」で構成。検出器の接液部はすべて特殊グレードのPFAの成型品を使用し、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もないクリーン構造。RS485通信機能によるプロセスの集中管理が可能。変換器「SFC3000」は、デジタル信号プロセッサなどの電子技術を採用し、耐気泡性能が向上。動粘度40mm2/sまでの高粘度流体の測定が可能。配線工事がしやすいプラグイン構造で、腐食に強く、取付けが容易。

製品カタログ・資料

液体用省スペース超音波流量計 UCUF-Eシリーズ
液体用省スペース超音波流量計 UCUF-Eシリーズ

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.21MB【UCUF-Eシリーズ】は、超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計。検出器「UCUF-E形」と変換器「SFC形」で構成。検出器の接液部はすべて特殊グレードのPFAの成型品を使用し、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もないクリーン構造。RS485通信機能によるプロセスの集中管理が可能。変換器「SFC3000」は、デジタル信号プロセッサなどの電子技術を採用し、耐気泡性能が向上。動粘度40mm2/sまでの高粘度流体の測定が可能。配線工事がしやすいプラグイン構造で、腐食に強く、取付けが容易。

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