エキシマ真空イオナイザ E900-172-ICF114
最終更新日:2014/11/14
このページを印刷ICF114フランジタイプ
【E900-172-ICF114】は、真空チャンバービューポートへICF114フランジで簡単に取り付け可能な光源分離型の真空イオナイザ。空冷方式のエキシマランプによるシンプルなシステム構造で低コスト高性能を実現。予熱不要で瞬時ON/OFFが可能。波長172nm、水銀不使用UVランプを採用しており、安心して利用できる。
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