静圧リニアガイドステージ メタルエアースライダSASシリーズ
最終更新日:2014/01/30
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完全非接触で、ストロークフリー構造
【メタルエアースライダSASシリーズ】は、可動部の支持に静圧気体軸受を用いた静圧リニアガイドを採用した高精度ステージ。完全非接触で、運動精度が高い。希望の移動量で製作が可能なストロークフリー構造で、速度ムラが少なく、サブミクロンの精度で位置決めが可能。ステージモーションのサイクルタイムの短縮も図れる。
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