光学式フィードバック一体ガイドウエイ MINISCALE PLUS

【MINISCALE PLUS】は、半導体や電子産業などの高速・軽負荷用途向けガイドウエイ「MINIRAIL」に光学式フィードバックを一体製造した製品。レール単体最大長さは1,000mmで、複数レールを結合して使用でき、全長のカスタマイズ対応も可能。主な仕様は、キャリッジ単体耐荷重：静荷重935～11,855N／動荷重645～6,200N、移動速度：最大5m／s、加速度：最大300m／s²、精度：1,000mmまで±10μm(±5μm)／40mmごと±4μm 、インクリメンタルフィードバック：デジタル／アナログ出力、分解能：0.1μm (1μmオプション)、リピータビリティ：一方向±1μm／双方向±2μm。