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卓上型超臨界洗浄 乾燥装置 SCRD 4

(株)レクザム

最終更新日:2016/01/19

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  • 卓上型超臨界洗浄 乾燥装置 SCRD 4
微細構造物を破壊せずに洗浄・乾燥
【SCRD 4】は、微細構造・ィを破壊せずに洗浄・乾燥が可能な、4インチウエハ用卓上型超臨界洗浄・乾燥装置。チャンバーの冷却、加温という温度サイクルがなく一定温度での洗浄・乾燥が行えるため処理時間の短縮が可能。電気的・機械的安全機構・異常加熱防止機構などを装備。使用流体:Co2、チャンバー内径Φ110×26mm。

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