ガス流量センサ SFM3000

【SFM3000】は、空気、窒素、酸素および非腐食性ガスにおいて－200～＋200 L／minの広範囲にわたってガス流量の測定が可能なセンサ。測定原理には同社の実績ある熱式マイクロセンサ技術を用いており、双方向から高精度かつ応答速度が速い測定を可能にしている。また可動部分のない構造で、繰返し測定精度が高いことから、長期的に信頼性の高い測定が行える。フローチャンネルのデザインは、センサエレメントを通過するガスの圧力損失を非常に低く抑えており、14ビットのデジタル信号出力を2kHzの応答速度で出力し、内部で線形化され温度補償されている。同製品は、高品質な量産、特に医療機器、プロセスオートメーションや燃焼状態の制御など、要求が厳しくコスト重視のアプリケーション用途に最適。低コストで簡単な操作と短時間での評価が可能なEK-F3X評価キットも用意。