超高精度レーザ変位センサ CDXシリーズ
最終更新日:2021/11/04
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リニアリティ±0.018％F.S.を達成
【CDXシリーズ】は、各種ロボットに取り付けて、位置決めや測定などに使用するレーザ変位センサ。イメージセンサ「ATMOS」と、専用設計の受光レンズ、高剛性の独立ベースユニット構造の採用でリニアリティ：±0.018％F.S.を達成し、非接触での超高精度測定が行える。センサヘッドにEthernet通信機能を内蔵しており、コントローラレスで直接ネットワークに接続可能。ウェブサーバー搭載で、専用のPCソフトウェアは不要。測定距離：85±20mmで分解能：0.1μmのミドルレンジタイプと、測定距離：150±40mmで分解能：0.2μmのロングレンジタイプを用意。
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