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ピエゾ・モーターPZTスタック／アクチュエータ

(株)アムテックス

最終更新日:2015/06/03

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10ナノメートルの分解能を実現

【ピエゾ・モーターPZTスタック／アクチュエータ】は、低ヒステリシス特性を有し、10〜200ミクロン単位での移動ができ、10ナノメートルの分解能を実現した製品。光学ミラーのポジショナー、超微細マイクロステッパー、高精度高圧のポンプ、光学機器のX-Y移動ステージ、コンタクトレンズの加工検査など幅広い用途で使用可能。

電子部品│小型モータ/ソレノイド│

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