1～8インチ／450mmウエハ用ピンセット

【非接触ピンセット】は、手操作によりウエハ、チップ、微小レンズ、太陽電池基板、ガラス基板を非接触にて吸着するピンセット(特許取得)。ハンドル先端に非接触搬送装置「フロートチャック」を装備し、ハンドルを持つ手の操作により空気供給(ON-OFF)することで、ワークを非接触にて吸着・脱着が行える。空気を噴出させることにより、ワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果で正圧にすることにより、基板を無接触状態にて懸垂保持する機能を有している。非接触のため、ワークを傷・汚れ・損傷なく搬送できる。