非接触ピンセット ベルヌーイチャック 1.0、1／2、1／4サイズウエハ用
最終更新日:2017/03/22
このページを印刷
InPウエハを非接触にて把持し搬送
本製品は、CVD装置サセプタに搭載されている高温InPウエハを非接触で取り出せる化合物半導体(InP、GaAs、GaP)ウエハ用ピンセット。対応サイズ：1.0、1／2、1／4。気体の噴出から生じるエゼクタ効果・ベルヌーイ効果・コアンダー効果がもたらす負圧の発生によるInPウエハの吸引把持と、圧力室式エアクション効果がもたらす正圧の発生によるウエハ離反のバランスで、ウエハを非接触にて把持し搬送する。
一緒に閲覧されている製品
製品カタログ・資料
- 非接触ピンセット ベルヌーイチャック 1.0、1／2、1／4サイズウエハ用
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.14MB本製品は、CVD装置サセプタに搭載されている高温InPウエハを非接触で取り出せる化合物半導体(InP、GaAs、GaP)ウエハ用ピンセット。
非接触ピンセット ベルヌーイチャック 1.0、1／2、1／4サイズウエハ用のお問い合わせ
