気体垂直噴流方式微小ワーク用ベルヌーイチャック SRL:フロートチャックSA-CH型
最終更新日:2018/10/25
このページを印刷懸垂能力を大幅に向上しながらも、気体消費量の半減を実現
【SRL:フロートチャックSA-CH型】は、気体垂直噴流方式を採用した搬送装置。クッション室にノズルより噴流する気体流を垂直気体噴流させることで、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少。負圧発生の効果を向上し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増す仕組み。衝撃に強く、気体消費量のほぼ半減を実現。ウェハチップ、高温ウェハ、レンズ、ガラス板、バイオ膜、微小物の搬送に最適。
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ファイル形式:pdf ファイルサイズ:1.09MBベルヌーイチャック「SRL:フロートチャックSA-CH型」は、新しく気体垂直噴流方式を採用。 気体垂直噴流方式は、クッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることにより、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減。