テストチップ JTEG Phase11
最終更新日:2018/10/30
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【JTEG Phase11】は、超ファインピッチ WB・FC 実装評価用テストチップ。主な仕様は、(1)ウエハサイズ：8インチウエハ、(2)ベースチップサイズ：7.3×7.3mm□、(3)対応可能なバンププロセス：金メッキバンプ、金スタッドバンプ、(4)オプション：バンプの搭載、ダイシング加工、バックグラインド加工、表層ポリイミド成膜（金メッキバンプ品は除く）。
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