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微分干渉ユニット／瞳分割偏光ユニット

シーシーエス(株)

最終更新日:2026/06/22

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  • 微分干渉ユニット／瞳分割偏光ユニット
マシンビジョンに特化した照明光学系と撮像光学系の一体設計
本製品は、マシンビジョンに特化した照明光学系と撮像光学系の一体設計で、ナノ～ミクロンオーダーの微細なキズや段差・凹凸、ゆるやかな傾斜を可視化するユニット。半導体ウエハーや半導体製造に用いるガラス基板などのさまざまな検査で使用可能。微細な段差やキズの観察に適した「微分干渉ユニット」は、光沢表面の微細なキズ・刻印検査、ウエハーのキズ・クラックや結晶欠陥などの検出に適している。緩やかなうねり・傾き・反りの観察に適した「瞳分割偏光ユニット」は、光沢表面の微細なうねりや傾きの検査、ウエハーの研磨痕、加工時の反りや切削咳などの検出に適している。
    　　　　　　　　
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微分干渉ユニット・瞳分割偏光ユニット
微分干渉ユニット・瞳分割偏光ユニット

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：2.99MB微細な段差やキズの観察に適した「微分干渉ユニット」と、 緩やかなうねり、傾き、反りの観察に適した「瞳分割偏光ユニット」は、 半導体ウエハーや半導体製造に用いるガラス基板などのさまざまな検査で使用できます。 微分干渉ユニット用途例:光沢表面の微細なキズ・刻印検査、ウエハーのキズ・クラックや結晶欠陥などの検出 瞳分割偏光ユニット用途例:光沢表面の微細なうねりや傾きの検査、ウエハーの研磨痕、加工時の反りや切削咳などの検出 ◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、シーシーエスWebサイトよりお気軽にお問い合わせ下さい。 https://www.ccs-inc.co.jp/

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企業基本情報

社名：
シーシーエス(株)
住所：
〒 602-8011
京都市上京区室町通出水上ル近衛町38
Web：
https://www.ccs-inc.co.jp

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