微分干渉ユニット／瞳分割偏光ユニット

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  ＜1回のトリガー信号で3回の⾼速スキャンを実現した新検査ソリューション＞
  
  本システムは、高速パルスLED照明、ラインスキャンカメラ、画像入力ボードおよびライトガイドの4点で構成されています。
  1回のトリガー信号によって、3つの異なる照明を用いて撮像した画像を、従来のラインスキャンの1サイクル分で取得することが可能で、これにより、検査スピードの高速化や精度の向上、検査ステージの削減による設備の省スペース化を実現します。
  また、高速パルスLED照明の光源にR(赤)、G(緑)、B(青)を使用すれば、モノクロカメラを使⽤してカラー画像の合成も可能になります。

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  ＜ラインセンサ用照明　LNLPシリーズ＞
  
  放熱のために筐体に冷却ファンを取り付けていましたが、「LNLPシリーズ」は、空気の流れが管理されたクリーンルーム等での使いやすさを追求し、従来品以上の明るさ100万lxをファンレスで実現しました。
  さらに、発光面を片側に寄せた設計(特許出願済み)により、ワークにギリギリまで近づけて浅い角度からの照射が可能となり、微細な欠陥検出の精度が向上しています。