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ステッパーランプ DULシリーズ

(株)ユメックス

最終更新日:2015/06/04

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  • ステッパーランプ DULシリーズ
高質なDeep UV線を放射
【DULシリーズ】は、入力1.5/1.75/2.5/3.5kW、電流55.7/67/95/152Aの4機種をラインアップし、各社ステッパー露光装置に搭載が可能なランプ。主な仕様は、電圧(V):23/36、許容使用角度:V±10°、極間寸法(mm):3.6±0.2/4.2±0.2/4.3±0.2、L1(mm):261±2/243±2/335±2/339±2、φD1(mm):51/55/76/80。

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