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ステッパーランプ DULシリーズ

(株)ユメックス

最終更新日:2015/06/04

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  • ステッパーランプ DULシリーズ
高質なDeep UV線を放射
【DULシリーズ】は、入力1.5／1.75／2.5／3.5kW、電流55.7／67／95／152Aの4機種をラインアップし、各社ステッパー露光装置に搭載が可能なランプ。主な仕様は、電圧（V）：23／36、許容使用角度：V±10°、極間寸法（mm）：3.6±0.2／4.2±0.2／4.3±0.2、L1（mm）：261±2／243±2／335±2／339±2、φD1（mm）：51／55／76／80。
    　　　　　　　　

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