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アクティブ振動制御プラットフォーム PADシリーズ
最終更新日:2014/02/01
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コンプレッサ不要で取付が容易
【PADシリーズ】は、コストパフォーマンスの高い6-自由度のアクティブ徐振プラットフォーム。独自の床振動F-Fコントロールオプションを標準装備、1.5〜数10Hzの振動周波数範囲で高い除振性能を発揮し、空圧制御不要のコンパクト設計で設置が容易。パッシブ除振で振動問題が発生したSEMの性能回復に適している。
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