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社名：
(株)マグネスケール
住所：
〒 259-1146
伊勢原市鈴川45
Web：
http://www.magnescale.com

レーザスケール BS65

(株)マグネスケール

最終更新日:2014/05/22

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  • レーザスケール BS65
高精度原点内蔵のオープンタイプ
【BS65】は、レーザ光波干渉計並みの高精度かつ高分解能で、安定した超精密測長が行えるオープンタイプのレーザスケール。また、マグネスケール並みの扱い易さと信頼性(取付・調整)も有しており、空気の流れおよび気圧変化に対して安定した測定が可能。160〜960mm範囲でスケール有効長の異なる9機種ラインアップ。 半導体製造装置をはじめ、検査機器、精密加工機器、精密測定器・試験機などの用途に適応。主な仕様は、
(1)原点精度：±0.1μm
(2)精度：(0.1＋0.4ML／100)μmp-p
(3)分解能：0.07nm
(4)青板ガラス使用：8×10−6／℃(有効長：160〜960mm)
    　　　　　　　　

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