仕様
| 用途 | ・半導体ウェハーのドライエッチング・ウェットエッチング ・プリント基板(PCB)の薬液エッチング ・フォトレジスト剥離前の前処理洗浄 ・FPDの微細パターン形成 均一エッチング処理 ・エッチング後の中和・リンス処理 残留薬液の除去 |
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その他の情報
- ※その他のスプレーノズルも豊富にラインアップ。お見積り、特注対応など、ノズルに関するお悩みはぜひお気軽にお問合せください。電話・オンライン相談も随時受付中。
※噴霧量や寸法、その他の諸仕様は形番ごとに異なります。
詳細につきましては、PDF資料をご確認いただくか、お気軽にお問い合わせください。
用
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製品カタログ・資料
- エッチング工程・メンテナンス省力化|耐薬性に優れたスプレーノズル
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会社情報

株式会社いけうちは、半世紀以上にわたって社会に霧を提供しているフォグエンジニアです。
(株)いけうち
5万点以上の製品群から、洗浄・冷却・加湿・塗布・乾燥・冷房・除菌・消臭・鎮塵・浄化・演出など、産業のあらゆる用途に霧を提供します。
省エネ・節水・節電・省力化・自動化・高品質化など、さまざまな要望に合わせたご提案を行っております。
お気軽にお問い合わせください。
〒 550-0011 大阪市西区阿波座1-15-15 第一協業ビル
https://www.dry-fog.com/詳細はこちら
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同じくワンタッチ着脱ノズルとして「INVVEA」「INOVVE」シリーズがあり、いずれもノズルチップ交換が簡単で、メンテナンス時の作業時間を大幅に短縮できます。
「JJRP」シリーズはPTFE製、PVDF製があり、小噴量でも均等性に優れた充円錐スプレーパターンを維持するノズルです。
「JJXP」シリーズはPVDF製と、高温の薬液噴霧に耐える耐熱塩ビ(HTPVC)製があるノズルです。充円錐スプレーパターンで、異物通過径が大きく目詰まりしにくい設計です。
「BBXP」シリーズは120°と広範囲の円形にスプレーするノズルで、ノズル使用個数を削減しコストダウンが図れます。
「EJX」シリーズは液中噴射ノズルで、液撹拌によりエッチングを促進させます。
「SLNHK」シリーズはスリットノズルで、液流路にボルトがなくきれいな液幕を作り、エッチング液の塗布に適役です。