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リニアモータ τ（タウ）リニア NLAシリーズ

CKD日機電装(株)

最終更新日:2014/02/01

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  • リニアモータ τ（タウ）リニア NLAシリーズ
定格推力7N(コアレス)〜1500N(コア付き)をラインナップしたワイドレンジタイプ
本製品は、小型高精密ステージに最適なコアレスタイプと、大質量負荷の高速位置決めに最適なコア付きタイプをラインナップ。用途は、ICハンドラ、コネクタ製造装置、大型基板搬送、電子描画装置、拡散炉、ウエハ搬送、ピック＆プレース、高精度計測装置、ワイヤボンダ、電子線描画装置、レーザ加工機、半導体製造装置など。
    　　　　　　　　

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