リニアアクチュアータ 超精密位置決め LAシリーズ
最終更新日:2014/01/31
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小型・高分解能・高推力を実現
【LAシリーズ】は、小型・高分解能・高推力を兼ね備えたリニアアクチュエータ。最大推力49N、分解能0.0174μmと高精度を実現。主な用途としては、画像計測でのワーク位置決め、光ディスク・HDD・VTRなどの高精度組立、半導体製造装置でのウェーハ位置決めなど。
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