リニアモータ τ（タウ）リニア NVAシリーズ
最終更新日:2014/02/01
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速度安定性能・コンパクト・大負荷の高速運転を実現
本製品は、優れた速度安定性能をもつリニアモータ。速度変動率±0.04％を達成し、速度安定性、省スペース、高加速を実現。用途は、ICハンドラ、拡散炉、ウエハ搬送、ピック＆プレース、高精度計測装置、ワイヤボンダ、電子線描画装置、レーザ加工機、半導体製造装置など。
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