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原子層蒸着(ALD)用バルブ ALD7

日本スウェージロックFST

最終更新日:2023/10/11

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常識を覆すパフォーマンス:半導体製造デバイスの歩留まりの最適化・最大化を実現する、超高純度(UHP)用ALD7バルブをリリース

「Swagelok(R) 原子層蒸着(ALD)用ALD7バルブ」は、進化したダイヤフラム・バルブとして、最高レベルの供給精度、高速開閉、数千万回を超える製造サイクルにおいて安定したパフォーマンスを提供。半導体製造デバイスの歩留まりの最適化・最大化に欠かせない一貫性と耐久性を併せ持ち、高温下での熱安定性、耐食性にも優れている。現行の最上位モデルALD6バルブと比較すると、ALD7バルブは流量の一貫性、大流量、作動スピードが向上。
「ALD7」を新たに加えた幅広い製品ラインアップにて、さまざまなALDプロセス条件において最適なソリューションを提供している。

【特長】
・一貫性の追求:流量、スピード、温度、コンパクトなデザイン
・流量係数(Cv値)0.7
・開閉レスポンス・タイム(応答時間)5ミリ秒未満
・高温下での熱安定性(最高使用温度:アクチュエーター150℃、バルブ200℃)

流体機器│バルブ/継手│

その他の情報

Swagelok ALD7 超高純度用(UHP)ダイヤフラム・バルブは、流量の一貫性、大流量、作動スピード、高温性能が向上しており、半導体製造デバイスの歩留まりの最適化・最大化を実現

製品カタログ・資料

: 常識を覆すパフォーマンス「ALD7超高純度用ダイヤフラム・バルブ」
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.94MBALDバルブの常識を覆すパフォーマンス超高純度用Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD7は、数百万サイクルを超えても高い信頼性と精度のあるパフォーマンスを発揮するバルブが、デバイスの歩留まりの最大化を実現。常識を覆すパフォーマンスとして「ALD7」を製品ラインアップに追加しました。【特長】一貫性の追求:流量、スピード、温度、コンパクトなデザイン・流量係数(Cv値)0.7 ・開閉レスポンス・タイム(応答時間)5ミリ秒未満・高温下での熱安定性

関連製品カタログ・資料

原子層蒸着(ALD)用バルブ　超高純度用バルブ　原子層プロセス用

会社情報

: 工場最適化に、Swagelokのソリューションを。
日本スウェージロックFST
〒 663-8142 西宮市鳴尾浜1-1-1
電話 : 08033280693

https://www.japan.swagelok.solutions
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社名：: 日本スウェージロックFST

住所：: 〒 663-8142
西宮市鳴尾浜1-1-1

Web：: https://www.japan.swagelok.solutions

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