その他の情報
- Swagelok ALD7 超高純度用(UHP)ダイヤフラム・バルブは、流量の一貫性、大流量、作動スピード、高温性能が向上しており、半導体製造デバイスの歩留まりの最適化・最大化を実現
製品カタログ・資料
- 常識を覆すパフォーマンス「ALD7超高純度用ダイヤフラム・バルブ」
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.94MBALDバルブの常識を覆すパフォーマンス 超高純度用Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD7は、数百万サイクルを超えても高い信頼性と精度のあるパフォーマンスを発揮するバルブが、デバイスの歩留まりの最大化を実現。 常識を覆すパフォーマンスとして「ALD7」 を製品ラインアップに追加しました。 【特長】一貫性の追求:流量、スピード、温度、コンパクトなデザイン ・流量係数(Cv値)0.7 ・開閉レスポンス・タイム(応答時間)5ミリ秒未満 ・高温下での熱安定性
関連製品カタログ・資料
会社情報
- 日本スウェージロックFST
〒 663-8142 西宮市鳴尾浜1-1-1
電話 : 0798-77-1500
https://www.japan.swagelok.solutions詳細はこちら
「ALD7」 を新たに加えた幅広い製品ラインアップにて、さまざまなALDプロセス条件において最適なソリューションを提供している。
【特長】
・一貫性の追求:流量、スピード、温度、コンパクトなデザイン
・流量係数(Cv値)0.7
・開閉レスポンス・タイム(応答時間)5ミリ秒未満
・高温下での熱安定性(最高使用温度:アクチュエーター150℃、バルブ200℃)