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リアルタイムプロセスモニタ

日本電波工業(株)

最終更新日:2023/12/08

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  • リアルタイムプロセスモニタ
半導体プロセスの見える化に貢献
本製品は、1枚の水晶片上に検出電極と基準電極の2電極を形成して水晶片のばらつきを抑え、外来要因を高精度にキャンセルすることができるセンサ「Twin-QCM」と専用コントローラで構成されたリアルタイムプロセスモニタ。Twin-QCMセンサを半導体製造装置に応用することで、最先端のプロセス制御(見える化)が可能となる。Twin-QCMセンサは、NW／KF規格フランジ取り付けタイプと、ネジ固定タイプを用意。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
日本電波工業(株)
住所：
〒 151-8569
渋谷区笹塚1-47-1 メルクマール京王笹塚
Web：
http://www.ndk.com/

おすすめ情報

  • ＜NX2016SF＞

    水晶振動子とサーミスタ 一体型の構造です。一体化することで、回路設計に於けるスペースの省略化を実現しました。また、同一気密室内に水晶片と温度センサー（サーミスタ）を搭載し、より水晶片に近い温度を検出可能です。
    0.65 mmと低背なため、携帯情報端末の薄型化に最適です。

    ・周波数範囲　：　19.2 〜 52MHz
    ・サイズ　：　2.0×1.6×0.65 mm
    ・周波数許容偏差(32±3℃＠19.2MHz) ±10ppm
    ・動作温度範囲 ： -30 〜 +85℃

  • ＜NZ2016SD＞

    ワイヤレスLAN、ハイレゾに対応したオーディオ機器に最適な低位相雑音のクロック用小型CMOS水晶発振器です。

    ・位相雑音
    Fout ± 1kHz：
    -146dBc/Hz（typ.）＠ 3.3V、25℃、Fout=26MHz
    Fout ± 100kHz：
    -157dBc/Hz（typ.）＠ 3.3V、25℃、Fout=26MHz
    ・周波数 1.5〜60MHz
    ・温度特性 ±50ppm
    ・動作温度範囲 -40〜+85℃
    ・サイズ 2.0×1.6×0.7mm
    ・電源電圧 1.8, 2.5, 3.0, 3.3V