3軸センサーユニット
最終更新日:2020/03/18
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機械サーボクラスの性能でSi-MEMSクラスの小型・低消費電力を実現
セイコーエプソンでは、産業分野向けに、分解能0.001度（傾斜計）、10μG（振動計）で、長期間にわたり高い安定度で計測が可能な小型の傾斜計／振動計（3軸センサーユニット）を開発し、用途別に4機種を商品化した。機械サーボクラスの性能ながら、Si-MEMSクラスの小型・低消費電力およびトータルコストの抑制といった要求に対し、独自の水晶加工技術QMEMSにより、高精度で優れた安定性能を持つ水晶加速度センサーを新たに開発、半導体技術・ソフトウェア技術を結集し実用化を実現。さまざまな用途を想定し、組み込みモデルとCAN対応の防水・防塵モデルをそれぞれに用意している。
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