マイクロ波ダイヤモンド成膜装置 MDD-2015
最終更新日:2015/11/28
このページを印刷
目視しながら基板上のプラズマ分布を変化させることが可能
【MDD-2015】は、高出力(最大5kW)のマイクロ波電源および自動整合器(4Eチューナ)により、安定した高密度プラズマを発生させ、高品質ダイヤモンド膜を高速合成する装置。独自のプラズマ制御機能により、プラズマ点灯状態を目視で確認しながら、基板上のプラズマ分布を変化させることが可能。反応ガス：メタン／水素／酸素(増設可能)、成膜範囲：直径1インチ、成膜速度：20μm／h(工具グレード)・4μm／h(光学グレード)。マイクロ波電源はマグネトロン発振(連続波、パルス波、高安定スペクトル)、ソリッドステート発振など、同社のラインアップから選択できる。
一緒に閲覧されている製品
製品カタログ・資料
- マイクロ波ダイヤモンド成膜装置 MDD-2015
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.5MB【MDD-2015】は、高出力(最大5kW)のマイクロ波電源および自動整合器(4Eチューナ)により、安定した高密度プラズマを発生させ、高品質ダイヤモンド膜を高速合成する装置。独自のプラズマ制御機能により、プラズマ点灯状態を目視で確認しながら、基板上のプラズマ分布を変化させることが可能。
マイクロ波ダイヤモンド成膜装置 MDD-2015のお問い合わせ
