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- ダイヤモンド成膜装置 MDD-2016
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.51MB【MDD-2016】は、高出力(最大5kW)のマイクロ波電源および自動整合器(4Eチューナ)により、安定した高密度プラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成できるダイヤモンド成膜装置。
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