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超精密エアサーボアクチュエータ
最終更新日:2015/06/03
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位置精度±5μmを実現
【超精密エアサーボアクチュエータ】は、位置制御・荷重制御を1軸で実現したSumitomo heavy Industries， Ltd．製のエアアクチュエータ。独自に開発した制御アルゴリズムとエアベアリングの採用により、エア駆動による高速・高精度位置決め、高精度荷重コントロールを実現。シンプルな構造で、軽量・コンパクト化をはかり、搭載装置の性能向上に寄与する。
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