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真空機器

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ミニUHVゲートバルブ Series 01.0
VAT(株)
【Series 01.0】は、UHVから高度なアプリケーションまで対応する多用途バルブ。パー…
電流導入端子
(有)テクサム
テクサムでは、MIL丸型、D-Subなどのマルチピン、低電圧・低電流から60KV・1KAまでの…
Vacutronics社製無油式小型搖動ピストンドライポンプ MP…
鈺邦機械工業有限公司
【MPシリーズ MP-20V／30V／36V】は、真空・排気とも油分を一切含まないため、作業環…
真空チャンバー／真空容器／真空装置／排気セット設計製作
株式会社コスモ･サイエンス
コスモ・サイエンスでは、真空チャンバー、真空容器、真空装置、排気セットの設計や…
真空エジェクタ SCPiシリーズ
シュマルツ(株)
【シュマルツ製エジェクタ SCPiシリーズ】は、制御バルブや真空スイッチを一体化した…
抵抗加熱蒸着源OLED
ラドデバイス株式会社
【OLEDシリーズ】は、高品質フリースタンディング薄膜フィルターメーカーのLUXEL社が…
組込型ピラニ真空計 MP-100
東京電子株式会社
【MP-100】は、熱伝導を圧力に変換して計測を行う組込型ピラニ真空計。機能を最小に…
大型角型ゲートバルブ TWINVAT Series 06.1
VAT(株)
【TWINVAT Series 06.1】は、最大300×3800mmの開口を備えたFPD製造装置用の軽量バル…
ビューイングポート
(有)テクサム
ビューイングポートの窓材として、溶融石英、サファイヤのほか、ジンクセレン(ZnSe)…
Vacutronics社製無油式小型搖動ピストンドライポンプ MP…
鈺邦機械工業有限公司
【MPシリーズ MP-10S／15S／18S】は、真空・排気とも油分を一切含まないため、作業環…
真空配管／粗引配管の設計・製作・施工
株式会社コスモ･サイエンス
コスモ・サイエンスでは、真空配管の製作を行っている。重要な欠陥であるフランジ部…
B-A型真空計ミニチュアイオンゲージ
東京電子株式会社
【ミニチュアイオンゲージ】は、6.65〜1.33×10 −7 Paの広範囲測定が可能なB−A型真空…
緊急遮断シャッターシステム Series 77.1／77.3
VAT(株)
【Series 77.1／77.3】は、研究機関向けでの利用が多く、高い信頼性を持つ緊急遮断シ…
Vacutronics社製無油式ロータリードライ真空ポンプ DV-4…
鈺邦機械工業有限公司
【DV-40V-T】は、真空・排気とも油分を一切含まないため、作業環境および製品が油で…
クリスタル／コールドカソードコンビネーションゲージ CC-…
東京電子株式会社
【CC-10】は、精度、再現性、信頼性、耐久性を大幅に向上させたクリスタル／コールド…
均等排気バルブ SFV Series 67.0
VAT(株)
【SFV Series 67.0】は、SEMI／FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御およ…
Vacutronics社製オイルフリーベーン式真空ポンプ DV-25V-S
鈺邦機械工業有限公司
【DV-25V-S】は、真空・排気とも油分を一切含まないため、作業環境および製品が油で…
ソフト排気用アングルバルブ Series 29.0
VAT(株)
【ソフト排気用アングルバルブ Series 29.0】は、初期排気、ベント時の乱気流を抑止…
Vacutronics社製オイルフリーベーン式真空ポンプ DV-16V-S
鈺邦機械工業有限公司
【DV-16V-S】は、真空・排気とも油分を一切含まないため、作業環境および製品が油で…
振子式高真空バルブ Series 16.2
VAT(株)
【振子式高真空バルブ Series 16.2】は、ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナ…

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