クリスタル／コールドカソードコンビネーションゲージ CC-10

最終更新日:2019/02/20

プロセス真空計など4台の役割を1台で実現

【CC-10】は、精度、再現性、信頼性、耐久性を大幅に向上させたクリスタル／コールドカソードコンビネーションゲージ。測定子・ディスプレイ・コントローラ一体型複合真空計で、真空スイッチ、粗引き真空計、高真空計、プロセス真空計の4台の役割を1台で行う。測定範囲は1.0×10⁵〜1.0×10⁻⁷[Pa]で、作業の効率化などを実現。