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角型ゲートバルブ／インサート L-MOTION Series 04.3／05.3

VAT(株)

最終更新日:2018/03/19

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  • 角型ゲートバルブ／インサート L-MOTION Series 04.3／05.3
パーティクルフリー、ショックフリー、シール材に合わせてシール力を調整
【L-MOTION Series 04.3／05.3】は、半導体製造装置のロードロックチャンバーおよびプロセスチャンバーの真空封止用。エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。閉動作を圧空シリンダーで行うことでショックとごみが低減し、サービスライフの向上に貢献する。
    　　　　　　　　
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角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION Series04.3/05.3
角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION Series04.3/05.3

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.61MB半導体製造装置のロードロックチャンバー、および、プロセスチャンバーの真空封止用。エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護。高速でスムーズな開閉動作でパーティクルフリー。開または閉位置での圧空ロック機構。サービスカバーからの簡単なメンテナンス。

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