ファイル形式：pdf ファイルサイズ：1.61MB半導体製造装置のロードロックチャンバー、および、プロセスチャンバーの真空封止用。エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護。高速でスムーズな開閉動作でパーティクルフリー。開または閉位置での圧空ロック機構。サービスカバーからの簡単なメンテナンス。
<高真空ゲートバルブ Series 09>
0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能！ 高真空ゲートバルブ
【Series 09】は、0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能！真空封土アプリケーション用の高真空ゲートバルブになります。手動式かつ圧空作動式で、ボディにはステンレススチールを採用しています。真空中にグリースの使用箇所および可動部品がなく、くさび形のプレートと受け(特許取得のウェッジリング)により、圧力差があっても開閉できます。シンプルなウェッジデザインによりメンテナンスが容易しています。O-リングが付着物を掻き取るため、リーク量を低減します。
真空ゲートバルブ Series 12
2分割ボディでメンテナンスが容易、低コストにて提供
【Series 12】は、独自の内部機構「VATLOCKシステム」により、機械的なロックで逆圧状況においても確実にシールします。、研究開発および産業用の低真空アプリケーション用バルブ。主にポンプに取り付けて使用します、エアダンピングにより振動が少なく、ポンプへの負担がありません。2分割ボディで取り外しが容易なため、メンテナンスがしやすい。手動式と圧空作動式をラインアップ。ボディ素材にはアルミニウムを採用しています。硬質アルマイト加工などの表面処理やユーザー指定のフランジ、標準以外のシール材の使用など、カスタマイズにも対応しています。
