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- UHVゲートバルブ Series10.8
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:1.2MB開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態をキープ。直接板に焼きつくシールでゴミが溜まらない。研究開発および産業のUHVアプリケーションの標準バルブ。
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