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製品カタログ・資料
- 角型ゲート/インサート MONOVAT Series02.2/03.2
ファイル形式:pdf ファイルサイズ:1.38MB200m、300、450mmウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。ゲートの自己調整機能によりメンテナンスフリーのアクチュエータ。ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護。低ショックでパーティクルフリー、バイブレーションフリー。
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