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角型ゲート/インサート MONOVAT Series 02.2/03.2

VAT(株)

最終更新日:2018/03/19

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  • 角型ゲート/インサート MONOVAT Series 02.2/03.2
メンテナンスフリーのアクチュエータ、コンパクトなデザイン
【MONOVAT Series 02.2/03.2】は、200、300、450mmウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護。ゲート開口部の寸法にかかわらず、アクチュエータは共通のモジューラシステムを採用し、ゲートの自己調整機能によりメンテナンスフリー。そのほか、簡単なゲート交換、低ショック、PEEK材でできた差圧タブといった特長を持つ。

製品カタログ・資料

角型ゲート/インサート MONOVAT Series02.2/03.2
角型ゲート/インサート MONOVAT Series02.2/03.2

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:1.38MB200m、300、450mmウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。ゲートの自己調整機能によりメンテナンスフリーのアクチュエータ。ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護。低ショックでパーティクルフリー、バイブレーションフリー。

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