【カタログプレビュー】角型ゲート/インサート MONOVAT Series02.2/03.2
                    
                200m、300、450mmウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。ゲートの自己調整機能によりメンテナンスフリーのアクチュエータ。ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護。低ショックでパーティクルフリー、バイブレーションフリー。
                発行元:VAT(株)
                
            













