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製品カタログ・資料
- (11)銅合金製 極高真空システム
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.25MB本製品は、低輻射率・高熱伝導率の銅合金製 極高真空システム。熱源からのガス放出を1/100まで軽減でき、特殊処理(TOMI研磨)により、超低ガス放出である。100℃程度の低温ベークで10-9Pa台の超高真空を得られ、250℃を超えるベーキングで容易に極高真空を得られる。従来のSUS製品に改良を加えることにより、この技術を応用してガス放出を抑えることが可能。
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