【マイクロチップ非接触搬送チャック】は、空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発生作用と、圧力室型エアクッション効果および気流のクッション効果による正圧発生作用により、レンズを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂保持し、搬送する製品。非接触のため微小ワーク表面に傷を付けたり汚したりすることがなく、ま…

ベルヌーイチャック「SRL：フロートチャックSA-CH型」は、新しく気体垂直噴流方式を採用。 気体垂直噴流方式は、クッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることにより、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消…

本製品は、CVD装置サセプタに搭載されている高温InPウエハを非接触で取り出せる化合物半導体(InP、GaAs、GaP)ウエハ用ピンセット。

【フロートチャック FLN型】は、粘着性フィルム、粘着性シート、太陽電池、光学フィルム、柔軟性シートを搬送する粘着性フィルム・粘着性シート搬送装置。噴出気体流がフィルムに衝突せず、吸引圧力が保持面全体でほぼ均一に掛かるよう設計されており、フィルムの脆さに応じた吸引力に調整が可能。

【フロートチャックWA型】は、クリーンルームへの排気の排出を規制するクリンルーム対応可能なベルヌーイチャック。保持するウエハに対向する作動面と作動面の中央部に設けられたクッション室、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けており、ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびウエハと接触する…

【デスタックフィーダ】は、アルミ板・非鉄金属板をプレス・洗浄機に送り出す装置。積層された自動車ボディ用アルミ板、高級カラー鋼板、プラスチック板、ステンレス板を空気噴流により高速かつ損傷することなく無接触にて、プレスあるいは洗浄装置へ送り出すことができる。懸垂保持機構には、同社開発の空気噴流式高性能無接触搬送装置「フロートチ…

手操作によりウエハ、チップ、微小レンズ、太陽電池基板、ガラス基板を非接触にて吸着するピンセット(特許取得)。 空気を噴出させることにより、ワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果で正圧にすることにより、基板を無接触状態にて懸垂保…