【フロートチャックWA型】は、クリーンルームへの排気の排出を規制するクリンルーム対応可能なベルヌーイチャック。保持するウエハに対向する作動面と作動面の中央部に設けられたクッション室、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けており、ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびウエハと接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する仕組み。