【カムポジショニングステージ(CPS)】は、微小ワークの移送中の正しい位置補正を実現するカム駆動ステージ。カムは一定のピッチで送ることができ、ボールねじ駆動のステージと同様に使用できる。アブソリュートの原点復帰機能を利用しており、原点センサは不要。電子ギヤにより、微細送り設定(0.001mm～)が可能。クロスローラはスリップ防止機構を内蔵し、優れた移動性能を発揮する。□60サイズの「CPS06020DM」と、PPU搭載の「CPS12440DM」をラインアップ。上向き、下向き(天吊り)の両方で使用でき、用途に合わせたシステムを構成できる。