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【カタログプレビュー】高荷重用ナノポジショニングステージ NPS-X-60D/NPS-X-100D

【NPS-X-60D/NPS-X-100D】は、極めて高い速度と精度両立が要求される用途において、最適なパフォーマンスを発揮するように設計されたクィーンズゲイト社のナノポジショニングステージ(NPS)。高荷重に適したダイレクトドライブ方式を採用するとともに、ユーザーの用途に応じて、X方向の動き、もしくはZ方向の動きにおいて、最高の性能を発揮するように調整されている。静電容量センサによるフィードバック機能を搭載。異なる荷重に応じて最適化することが可能。動作範囲:60ミクロン/100ミクロン、耐荷重10kg(ただし、6㎏を超える場合にはあらかじめ要相談)。主な用途は半導体検査装置における光学部品の精密位置決め、顕微鏡の対物レンズ取り付け部の位置調整、精密加工分野。

企業基本情報

社名:
プライアー・サイエンティフィック株式会社
住所:
〒 103-0025
東京都 中央区日本橋茅場町2-7-10 茅場町第三長岡ビル10階
Web:
https://priorjp.co.jp/
TEL:
03-5652-8831