【BDS2】は、非50ΩラインにおけるRF(高周波)電力のモニタシステム。RFの再現性を求められる半導体の製造プロセスでは、RFの常時監視モニタとして利用できるだけでなく、電流、電圧、位相角が測定可能なためマッチングボックス以降のRF状態をチャンバごとに管理することが可能。ログデータや、簡易スペクトラム測定機能を利用することで、プロセス成功時のRF状態把握、プロセス失敗の原因や解析をサポートする。