本装置は、φ300mm(12″)石英ガラスウェーハを、ステージ①～ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。
　　使用するカセットは、FOUP・FOSBキャリアです。
　　基本的にキャリアは、作業者がステージにセットします。
　　空気洗浄度:ISO　Class3(ISO-14644)