クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。～300mm対応の半導体製造装置内や検査装置等のウェーハ搬送に適しています。 EFEMなどカセットが水平に配置されたレイアウトに対して、水平移動できる軸があり各ウェーハに対して走行軸なしで搬送が可能です。300mmウェーハのEFEMの場合、2Port対応です。 アブソリュートエンコーダ仕様のサ…

　　本装置は、φ300mm(12″)石英ガラスウェーハを、ステージ①～ステージ②のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。 　　使用するカセットは、FOUP・FOSBキャリアです。 　　基本的にキャリアは、作業者がステージにセットします。 　　空気洗浄度:ISO　Class3(ISO-14644)

本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。 使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセットです。各カセットは作業者がステージに供給します。

高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承します。

半導体製造には,非常にクリーンな環境での高速搬送が求められる.当社で提供している半導体処理設備に用いられるウェーハ搬送装置も,そのような要求に応えるように他社に先駆けてさまざまな工夫がなされている.その高い信頼性と生産性はワールドワイドのお客さまから評価されています。最先端の業界スタンダード装置として、最先端技術と多様なニーズ…

バッチ式自動洗浄装置SCC-250 　　ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。

　　PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。これまでシリコンウェーハ向けの出荷実績が多く、シリコンカーバイド(SiC)も対応可能です。 　　半導体製造には,非常にクリーンな環境での高速搬送が求められる.当社で提供している半導体処理設備に用いられるウェーハ自動剥離装置も,そ…