クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。～300mm対応の半導体製造装置内や検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
EFEMなどカセットが水平に配置されたレイアウトに対して、水平移動できる軸があり各ウェーハに対して走行軸なしで搬送が可能です。300mmウェーハのEFEMの場合、2Port対応です。
アブソリュートエンコーダ仕様のサーボモータを使用しており、原点復帰が不要です。