超低濃度のアンモニア及び窒素ガス中水分を連続且つ安定的に測定
可変ダイオードレーザー分光吸収(TDLAS)方式を用いた超微量水分計。
超低濃度のアンモニア及び窒素ガス中水分を連続且つ安定的に測定することができ、最低測定濃度(LDL)は10ppb、最小感度は2ppbで専従の分析担当者無しで高純度アンモニア・プロセスを連続監視することが可能。

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