【カタログプレビュー】蛍光X線方式膜厚測定器 XULMシリーズ
【XULMシリーズ】は、測定チャンバの下にX線源と検出器を配置し、測定物を迅速・簡単かつ直接ポジショニングできる蛍光X線方式膜厚測定器。量産品の測定用に設計されており、コンパクトサイズでありながら大きなサンプルを測ることもできる。
<非常に薄い皮膜の自動測定や微量分析が可能な蛍光X線方式膜厚測定器 XDV-SDD>
【XDV-SDD】は、電動ステージ付きで、非常に薄い皮膜の自動測定や微量分析が行える蛍光X線式測定器。シリコン・ドリフト・ディテクター(SDD)をX線検出器に採用、 プログラミング可能なXYステージを装備。大型でアクセス性のよい測定チャンバ(クローズドチャンバ―タイプ)を搭載。自社開発により進化を遂げたデジタルパルスプロセッサー「DPP+」を搭載し、従来のDPPに比べ最大50%性能向上し、測定時間の短縮に貢献。■極薄膜や多層膜の検査(電子・半導体産業など)
■トレース分析(RoHS、玩具、包装材基準のための有害物質検査など)■NiPの組成分析と薄膜測定