【XDV -µ SEMI】は、微小構造のウェハー測定に特別設計された完全自動化の蛍光X線測定システム。FOUPやSEMI規格のウェハー格納用ポッドのロードポートが利用可能なため、ウェハーの出し入れや測定が完全自動で実行できる。