【カタログプレビュー】蛍光X線式測定器の自動化システム XDV-µ SEMI
【XDV -µ SEMI】は、微小構造のウェハー測定に特別設計された完全自動化の蛍光X線測定システム。FOUPやSEMI規格のウェハー格納用ポッドのロードポートが利用可能なため、ウェハーの出し入れや測定が完全自動で実行できる。
<非常に薄い皮膜の自動測定や微量分析が可能な蛍光X線方式膜厚測定器 XDV-SDD>
【XDV-SDD】は、電動ステージ付きで、非常に薄い皮膜の自動測定や微量分析が行える蛍光X線式測定器。シリコン・ドリフト・ディテクター(SDD)をX線検出器に採用、 プログラミング可能なXYステージを装備。大型でアクセス性のよい測定チャンバ(クローズドチャンバ―タイプ)を搭載。自社開発により進化を遂げたデジタルパルスプロセッサー「DPP+」を搭載し、従来のDPPに比べ最大50%性能向上し、測定時間の短縮に貢献。■極薄膜や多層膜の検査(電子・半導体産業など)
■トレース分析(RoHS、玩具、包装材基準のための有害物質検査など)■NiPの組成分析と薄膜測定