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【カタログプレビュー】蛍光X線式測定器の自動化システム XDV-µ SEMI

【XDV -µ SEMI】は、微小構造のウェハー測定に特別設計された完全自動化の蛍光X線測定システム。FOUPやSEMI規格のウェハー格納用ポッドのロードポートが利用可能なため、ウェハーの出し入れや測定が完全自動で実行できる。

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