波長365nmのUV-LEDを使用した、コンパクトなUVフィルム硬化装置です。
UV-LEDの特徴である常温照射、低ランニングコストはそのままに、
8インチウエハーに対して全面照射を可能としました。

【特徴】
・365nmのUV-LEDを使用し常温照射、低ランニングコスト
・小型、テーブルトップサイズ
・簡単ボタン操作
・LEDユニットエラー検出機能
・8インチ枚葉式