波長365nmのUV-LEDを使用した、コンパクトなUVフィルム硬化装置です。 UV-LEDの特徴である常温照射、低ランニングコストはそのままに、 8インチウエハーに対して全面照射を可能としました。 【特徴】 ・365nmのUV-LEDを使用し常温照射、低ランニングコスト ・小型、テーブルトップサイズ ・簡単ボタン操作 ・LEDユニットエラー検出機能 ・…

■■■　スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実行　■■■ 【TW-700】は、ワークの スクラブ洗浄 ・ リンス ・ 乾燥 を一台の装置でスピーディーに行う洗浄装置｡ ・特殊洗浄ブラシにてワークに傷を付けず洗浄ムラなく精密洗浄を行う｡ ■主な特長： ・縦型処理の為、ワークにストレスがかからない｡ ・少量多品種、Ｒ＆Ｄ用途の基板洗浄にも最適｡ ・各サイズ…

■■■　少量多品種、R＆D用途にも最適　■■■ 【TW-200】は、ワークのスクラブ洗浄、リンス、乾燥を一台の装置でスピーディーに行うフォトマスク洗浄装置。 ・特殊洗浄ブラシにより、ワークに傷を付けず洗浄ムラなく精密洗浄を行うことができます。 ■主な特長： (1)縦型処理のため、ワークにストレスがかからない (2)少量多品種、R＆D用途の基板洗浄に…

■■■■■　ご存知ですか？　縦型洗浄の理由　■■■■■ 【TW-300】は、ワークの スクラブ洗浄 ・ リンス ・ 乾燥 を一台の装置でスピーディーに行う洗浄装置｡ ・特殊洗浄ブラシにてワークに傷を付けず洗浄ムラなく精密洗浄を行う｡ ■主な特長： ・縦型処理の為、ワークにストレスがかからない｡ ・両面洗浄に適した縦型設計 ・スモールフットプリント ・少…

『TWC-300』は、マスクに付着したレジストとパーティクルを一挙に同時に除去することができる装置。 【特徴】 10,000,000円前後のマスク代を毎月削減 マスクは消耗品から永久使用へ 洗浄液は環境にやさしいマイルドな水溶性薬液を開発 熱硫酸や硫酸過水などの危険から解放 高価なリムーバーや現像液なども不要 設置場所を取らない縦型コンパクト設計

ダイシング／分割されたウェーハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げるウェーハーエキスパンダー。ダイシング／分割後のチップハンドリングが著しく向上する。拡張率、拡張スピードを任意に設定可能、高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ、グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ、などの特長があ…

【モデルFM-903シリーズ】は、200mm／8 セミオートタイプ。オペレーターはワークのセットと取出しのみで後の作業はすべて自動運転でテープ／フィルムの貼付け作業の安定と歩留り向上に貢献する。 用途は、ダイシング用途。DAF(ダイボンディングフィルム)用途。BG(バックグラインド)用途。 特長は、一般のり付きテープ／ブルーテープ対応。UVテープ…

【スーパークリーンヒーター SH Series】は、加熱部にステンレス（SUS316-EP処理）を採用した不活性ガス／クリーンドライエアー用ヒーター｡流体を汚染させずに瞬間加熱が行える。ヒーター容量は500〜2400Wまで6種類を用意。加熱部、流体通路はオールステンレス電解研磨処理。装置組込みや既設ラインへの組込みなど、インライン設置に最適。

“UV-208／312”は、ワーク表面の有機物汚染の除去と表面改質を行う紫外線オゾン洗浄装置。 ・複雑な機構が不要でシンプル。 ・ファイナル洗浄として威力を発揮。 ・高密度UVグリッドランプを使用。 ・ワーク面に対して照射が均一。 ・省スペース、コンパクト設計。 ・シンプルなユーティリティ。 ・両面洗浄、片面洗浄の対応が可能。 ※デモ機貸出（…

【モデルFM-3348シリーズ】は、200mm／8インチ対応のセミオート装置。 テープ貼付け／ラミネーションの条件多様化に対応でき、マニュアル装置に肝心の貼付け作業だけでも自動化し、更に貼付け条件の設定と貼付け品質の定量的な管理をしたいとい要望に応えるものとなっている。 ■主な仕様・特長 (1)プリセットされた貼付け条件でオートラミネーショ…

【LED光源 UV硬化装置】は、常温／室温照射、瞬時の光源立ち上がりが可能な装置。少流量N2パージ機能を内蔵、波長365nmを採用し全UVテープに対応、照度バラツキを解消したほか光源交換は10年以上不要で、電力消費は従来比1／9以下を実現。小型・軽量のテーブルトップタイプで、ダイシング工程とバックグラインド工程に適応可能。 ＜＜評価テスト受…

【QH Series】は、流体を汚染させる事無く瞬間加熱を行うヒーター。加熱部に高純度石英を採用した超純水用｡装置組込み、既設ラインに組込み等インライン設置に最適。特長は、ヒーター容量は1〜36KWまで16種類。接液部は石英、PTFE。液溜まりがない構造。小型、堅牢、安全設計

ワーク表面の有機物汚染の除去および、表面改質を行なう紫外線オゾン洗浄装置。複雑な機構を必要としない、シンプルなドライ洗浄装置で、ファイナル洗浄に最適｡ ・ワーク面に対して照射が均一。 ・両面洗浄、片面洗浄の対応が可能。 ・省スペース、コンパクト設計。 ※評価用テスト受付中！ 　詳細は、お問い合わせください。

【モデルUVC-408】は、ワークを回転させながら照射させるため光源長がワークの半径分で収まり小型、軽量でかつ、ワーク全領域に均一な照射を行なうことが可能なUVフィルム硬化装置／UV照射装置。独自の高効率、小流量N2パージ機能の搭載により、N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる。200mm／8”対応。サイズ…

【モデルFM-224シリーズ＞＞デモ機無料貸出中】は、研究開発を始めセミプロダクション用途まで目的に合わせ幅広く装置の選択ができるマニュアルタイプウエーハーマウンター。 装置はワークサイズ別に300mm、200mm、150mmと3機種を用意。用途別にダイシング用途やバックグラインド用途としての仕様別の製作が可能。貼付け対象はウェーハーに限らずパ…

【モデルFM-3343シリーズ】は、300mm／12 セミオートタイプ。テープ貼付け／ラミネーションの条件多様化に対応できる最適な装置。 マニュアル装置に肝心の貼付け作業だけでも自動化し、更に貼付け条件の設定と貼付け品質の定量的な管理が可能である。 用途は、ダイシング用途、DAF(ダイボンディングフィルム)用途、BG(バックブラインド)用途、機能…

＝＝＝＝＝　「カセット洗浄の悩み、解決します！」　＝＝＝＝＝ 【モデルTCC-803】は、ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を目的とした、少量多品種生産用途のコンパクトな洗浄装置。 「洗浄」→「リンス」→「乾燥１」→「乾燥２」・「静電気除去」のプロセスを自動運転。 …

【モデルUVC-512】は、ワークを回転させながら照射させるため光源長がワークの半径分で収まり小型、軽量でかつ、ワーク全領域に均一な照射を行なうことが可能なUVフィルム硬化装置／UV照射装置。独自の高効率、小流量N2パージ機能の搭載により、N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる。高圧水銀ランプ仕様。3…