ワーク表面の有機物汚染の除去および、表面改質を行なう紫外線オゾン洗浄装置。複雑な機構を必要としない、シンプルなドライ洗浄装置で、ファイナル洗浄に最適｡

・ワーク面に対して照射が均一。
・両面洗浄、片面洗浄の対応が可能。
・省スペース、コンパクト設計。

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